電化學離子遷移評價係統‌ 評估電遷移

產(chan) 品型號：

廠商性質：生產(chan) 廠家

所在地：北京市

更新日期：2025-01-15

產(chan) 品簡介：

電化學離子遷移評價(jia) 係統‌  評估電遷移

  電化學離子遷移評價(jia) 係統‌  評估電遷移是一種用於(yu) 評估材料在電化學遷移（ECM）條件下的性能的設備。該係統能夠模擬電化學遷移的環境條件，對樣品施加電壓並監測其電化學遷移行為(wei) ，從(cong) 而評估材料的耐電化學遷移性能和絕緣電阻。

隨著半導體(ti) 器件小型化的進展，在過於(yu) 苛刻的條件下評估電遷移變得至關(guan) 重要。電遷移評估係統提供基於(yu) 溫度和電流應力（影響器械使用壽命的兩(liang) 個(ge) 主要因素）的準確測量以及用於(yu) 確定判斷器械壽命所需參數的分析軟件。電化學遷移評價(jia) 係統旨在滿足廣泛的評估需求，從(cong) 前沿評估到生產(chan) 管理，提供增強的可操作性、優(you) 異的可靠性和簡化的數據分析。

性能

240通道評價(jia) 試驗 在單個(ge) 櫥櫃中的3個(ge) 烤箱中

2個(ge) 通道 (DUT) = 1個(ge) 插座

5個(ge) 插座 = 1個(ge) DUT 板

8個(ge) DUT 板 = 1個(ge) 烤箱

3個(ge) 烘箱 = 1個(ge) 櫃

在單個(ge) 烤箱中最多可測試80個(ge) 通道或DUT，使每個(ge) 機櫃有240個(ge) 通道。然而，主機 PC 可以控製多達1200個(ge) 通道或5個(ge) 滿載機櫃。

高精度溫度 控製在350°C以下

該烘箱能夠檢測高達350℃的溫度，並在300℃下提供±3.5℃的高度準確溫度分布。每個(ge) 烘箱均配有獨立的控製器，用於(yu) 單獨的溫度設置。

當前應力應用至200 mA

能夠施加0.1 mA至 200 mA 之間的應力電流。

高度可靠的雙重接觸 板結構

DUT 板和插座連接具有雙觸點結構，以實現更強的固定。該結構設計確保在高溫下進行長期評價(jia) 的可靠性更高。

*350°C的標準模型插座（300 mil和600 mil）。也可提供250℃型號（僅(jin) 600 mil）（可選）。

連接板

引腳分配亂(luan) 序功能使得即使使用具有不同引腳布局的 DUT 也可以評估 ESPEC DUT 板。

四種試驗模式

能夠在強製降解溫度和電流下通過測量電阻進行四種不同的檢測：電遷移、強製降解遷移、溫度特性 (TCR) 和擠壓。