激光測振儀和懸臂梁聯用技術在薄膜應變及壓電係數測量中的應用

激光測振儀和懸臂梁聯用技術在薄膜應變及壓電係數測量中的應用

一、技術背景與(yu) 設備基礎

伟德app官网下载安卓版苹果（以下簡稱"伟德bv网页版"）作為(wei) 專(zhuan) 注於(yu) 材料電學性能檢測的高新技術企業(ye) ，其功能材料電學綜合測試係統為(wei) 薄膜測量提供了高精度平台。在壓電薄膜研究中，激光測振儀(yi) 與(yu) 懸臂梁的配合測量方案，可實現對薄膜應變及壓電係數E31、D31、E33的精準標定，為(wei) 傳(chuan) 感器、儲(chu) 能器件研發提供關(guan) 鍵數據支持。

二、測量原理與(yu) 方法

1、懸臂梁應變測量體(ti) 係

采用定製化懸臂梁裝置，通過施加機械載荷誘導薄膜產(chan) 生應變。伟德bv网页版的極化裝置與(yu) 高壓放大器可精確控製加載條件，配合激光幹涉儀(yi) 實時捕捉微米級形變數據，應變靈敏度強。

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2、壓電係數測量技術路徑

橫向壓電係數E31/D31：通過測量懸臂梁彎曲時薄膜表麵電荷密度（D31）與(yu) 機械應變（S1）的對應關(guan) 係，結合公式E31=ΔD3/ΔS1實現計算縱向壓電係數E33：利用垂直方向極化裝置施加電場，通過激光幹涉儀(yi) 測量厚度方向應變響應，依據E33=ΔS3/ΔE3進行推導。

三、係統關(guan) 鍵技術優(you) 勢

激光測振儀(yi) 配合高低溫冷熱台對壓電器件測量

1.連接到Huace FE-3000鐵電分析儀(yi) 上的激光測振儀(yi) 可精確測量沉積在懸臂和膜上或沉積在基板上的壓電薄膜的壓電係數；

2.鐵電測試係統與(yu) 激光測振儀(yi) 相結合，在D33振動過程中可以達到0.2pA(0.02nm)分辨率；

3.高低溫冷熱台可以添加到薄膜壓電測試套件中，可以在單個(ge) 樣品在 -196℃至 600℃℃的溫度中進行測量。

激光測振儀(yi) 配合懸臂梁測量對薄膜應變測量

激光測振儀(yi) 與(yu) 薄膜壓電測試(E31)相結合，可測量沉積在懸臂上的壓電薄膜的壓電係數(E31、D31和E33)。 應用場景：壓電疲勞、壓電老化、過程監控。

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