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日期:2023-04-17瀏覽:991次
手動探針台的應用範圍
HCMP微型真空探針台手動探針台是一款專(zhuan) 門用於(yu) 材料電學表征和測量的微型桌麵型電學測量台,主要用於(yu) 介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學表征和測量,還可以在真空、氣氛環境下對材料進行電學測量評估,是實驗室測量薄膜材料電學材料常用工具,廣泛用於(yu) 高校、科研、航天航空、軍(jun) 工院所等領域。
功能特點:
1、無人機外觀設計開發,讓低溫探針台小巧精密;
2、XYZ三維移動平台的開發,位移分辨率10um以下;
3、電聲製冷機製冷加熱一體(ti) 化平台應用開發;
4、液氮製冷加熱一體(ti) 化平台應用開發;
5、利用機械彈性設計,低溫環境下也有彈性,避免在探針壓薄膜樣品是損壞薄膜;
6、實現-160℃~450℃的製冷和加熱測量環境,控溫精度達到±0.5℃;
7、采用1000X放大鏡顯微鏡設計,有利於(yu) 實時觀察樣品的測量狀態;
8、廣泛用於(yu) 複雜、高速器件的精密電器測量,可靠性高;
9、高低溫平台、測量夾具、測量軟件等集成於(yu) 一體(ti) ,讓操作變得簡單;
10、可以通過USB傳(chuan) 輸數據,數據格式為(wei) Excel格式。
應用場景:晶圓芯片高低溫測試
測試類型:IV/CV/RF
樣品台:4英寸
溫度範圍:77K-673K
真空度:10E-4Pa
顯微鏡類型:單筒、體(ti) 視、金相顯微鏡
探針臂數量:2-6個(ge)
探針臂移動:50mm*50mm*50mm
測試接口:BNC三同軸
測試精度:100fA
可搭配儀(yi) 器:源表、半導體(ti) 參數分析儀(yi) 、網絡分析儀(yi) 、示波器等。
應用範圍:
晶圓、芯片、LED測試、高低溫測試、場晶體(ti) 管、IGBT、分立器件等測試類型:IV/CV測試、RF測試 光電測試等搭配儀(yi) 器:吉時利2400係列、4200係列、安捷倫(lun) B2900係列、1500係列等特點:超高真空環境、避免氧化、結霜,77K-675K溫度測試範圍,外置探針臂操作更穩定、精準,可兼容不同類型顯微鏡滿足不同觀察要求、可滿足光譜測試、液氮開循環製冷,降低研發成本,模塊化設計、後期可無縫升級配置。