鐵電材料電性能測試儀結構介紹

鐵電材料電性能測試儀(yi) 結構介紹

  根椐鐵電簿膜材料的測量內(nei) 容及方法，我們(men) 通過分析，設計出測量係統，它主要包括可編程信號源、微電流放大器、積分器、放大倍數可編程放大器、 模/數轉換器、數/模轉換器、微機接口部分、微機和應用軟件等部分組成。係統框圖見下圖，硬件係統由一台計算機、一片帶A/D、D/A及開關(guan) 量控製輸出功能的計算機接口卡和信號調理電路部分組成。

鐵電材料電性能測量儀(yi) 結構框圖

  各種用於(yu) 測量的信號源由12 bit的D/A轉換器產(chan) 生，輸出電壓範圍為(wei) ±10V，對於(yu) 用於(yu) 研究FeRAM 的鐵電薄膜材料，其電壓工作範圍製一般為(wei) ±5V,信號源滿足測試要求。

  因為(wei) 在漏電流測量時電流測量分辨率為(wei) 10^-12A,所以測量信號需要經過微電流放大器將電流放大後再經積分器積分，然後通過程控放大器放大後進行模數轉換後成為(wei) 數字量進入計算機經軟件數據處理後得到被測參數。A/D轉換器選擇12bit、100kHz逐次比較式就可滿足係統測量要求。

  根據實際測量需要的情況，電容測量範圍為(wei) lpF到40nF(在測量非線性陶瓷器件時，驅動信4號經電壓放大電路放大，經過被測樣品後再經100：1的電流衰減器衰減後進入測量係統，此時電容測量範圍擴展為(wei) 40nF到4nF。）因為(wei) 係統測試範圍較寬，程控放大器放大範圍為(wei) 1倍、10倍、100倍。